光催化氧化反應 的具體過程是：在紫外光的照射下，納米TiO2光催化劑產生電子空穴對，與表面吸附的水分和氧氣反應生成氧化性很強的自由基(如氫氧自由基和超氧離子自由基)，這些自由基能夠降解有機物為二氧化碳和水，整個過程無添加劑，不會產生二次污染。
高能VUV光催化試驗箱 的工作原理是通過特定的高能VUV紫外線光束照射有機氣體及空氣中的氧分子，裂解有機氣體的分子鍵，并分化空氣中的氧分子形成游離氧(活性氧)，進而與污染物分子結合生成小分子無害或低害的化合物，如二氧化碳和水，從而達到凈化氣體的效果。光催化氧化設備適用于煉油廠、橡膠廠、化工廠、制藥廠、污水處理廠、垃圾中轉站、污水泵房、中央空調等惡臭氣體的脫臭滅菌凈化處理。可每天24小時連續工作，運行穩定可靠。
高能VUV光催化試驗箱 的主要結構組成包括以下幾個部分：
•微波發生器 ：產生高能微波用于激發光催化反應。
•離子臭氧發生器 ：生成臭氧，用于氧化反應。
•控制柜 ：控制整個設備的運行。
•中效過濾 ：過濾進入設備的空氣，確保雜質不進入反應腔。
•TiO光觸媒 ：作為催化劑，促進光催化反應。
•外箱殼 ：保護內部組件，提供穩定的工作環境。
